رطوبت د پاکو خونو په عملیاتو کې د چاپیریال کنټرول یو عام حالت دی. د سیمیکمډکټر پاکو خونو کې د نسبي رطوبت هدف ارزښت د 30 څخه تر 50٪ پورې کنټرول کیږي، چې تېروتنه د ±1٪ په محدود حد کې وي، لکه د فوتولیتوګرافیک ساحه - یا حتی د لرې الټرا وایلیټ پروسس (DUV) ساحه کې کوچنۍ. - په نورو ځایونو کې، تاسو کولی شئ د ±5٪ دننه آرام وکړئ.
ځکه چې نسبي رطوبت یو شمیر عوامل لري چې ممکن د پاکې خونې په ټولیز فعالیت کې مرسته وکړي، په شمول د:
● د باکتریا وده؛
● د خونې په تودوخه کې د کارمندانو د آرامۍ کچه؛
● جامد چارج څرګندیږي؛
● د فلزاتو زنګ وهل؛
● د اوبو د بخاراتو د راټولېدو سبب ګرځي؛
● د لیتوګرافۍ تخریب؛
● د اوبو جذب.
باکتریا او نور بیولوژیکي ککړونکي (فنګس، ویروسونه، فنګسي، مایټس) کولی شي په فعاله توګه په هغه چاپیریال کې چې د 60٪ څخه پورته نسبي رطوبت ولري ضرب شي. ځینې نباتات هغه وخت وده کولی شي کله چې نسبي رطوبت له 30٪ څخه ډیر وي. کله چې نسبي رطوبت د 40٪ او 60٪ ترمنځ وي، د باکتریا او تنفسي انتاناتو اغیزې کمې کیدی شي.
د ۴۰٪ څخه تر ۶۰٪ پورې نسبي رطوبت هم یو معتدل حد دی چې انسانان پکې آرام احساسوي. ډیر رطوبت کولی شي خلک خپه کړي، پداسې حال کې چې د ۳۰٪ څخه کم رطوبت کولی شي خلک وچ، ټوخی، تنفسي تکلیف او احساساتي تکلیف احساس کړي.
لوړ رطوبت په حقیقت کې د پاکې خونې په سطحه د جامد چارج راټولیدل کموي - دا مطلوب پایله ده. ټیټ رطوبت د چارج راټولیدو لپاره ډیر مناسب دی او د الکتروسټاتیک خارجیدو احتمالي زیان رسونکی سرچینه ده. کله چې نسبي رطوبت له 50٪ څخه ډیر شي، جامد چارج په چټکۍ سره له مینځه وړل پیل کوي، مګر کله چې نسبي رطوبت له 30٪ څخه کم وي، دوی کولی شي د اوږدې مودې لپاره په انسولټر یا بې ځمکې سطحه کې پاتې شي.
د ۳۵٪ او ۴۰٪ ترمنځ نسبي رطوبت د قناعت وړ جوړجاړی کیدی شي، او د سیمیکمډکټر پاکولو خونې معمولا د جامد چارج راټولیدو محدودولو لپاره اضافي کنټرولونه کاروي.
د ډیری کیمیاوي تعاملاتو سرعت، په شمول د زنګ وهلو پروسې، به د نسبي رطوبت زیاتوالي سره زیات شي. ټولې سطحې چې د پاکې خونې شاوخوا هوا سره مخ کیږي په چټکۍ سره د اوبو لږترلږه یو واحد طبقه پوښل کیږي. کله چې دا سطحې د یو پتلي فلزي پوښ څخه جوړې وي چې کولی شي د اوبو سره عکس العمل وکړي، لوړه رطوبت کولی شي عکس العمل ګړندی کړي. له نېکه مرغه، ځینې فلزات، لکه المونیم، کولی شي د اوبو سره محافظتي اکسایډ جوړ کړي او د نورو اکسیډیشن تعاملاتو مخه ونیسي؛ مګر بله قضیه، لکه د مسو اکسایډ، محافظتي نه ده، نو په لوړه رطوبت چاپیریال کې، د مسو سطحې د زنګ وهلو لپاره ډیر حساس دي.
برسېره پردې، په لوړ نسبي رطوبت چاپیریال کې، د رطوبت د جذب له امله د پخولو دورې وروسته د فوتوریزیسټ پراخیږي او زیاتیږي. د فوتوریزیسټ چپکیدل هم د لوړ نسبي رطوبت لخوا منفي اغیزه کولی شي؛ ټیټ نسبي رطوبت (شاوخوا 30٪) د فوتوریزیسټ چپکیدل اسانه کوي، حتی د پولیمیریک تعدیل کونکي اړتیا پرته.
په نیمه کاره پاکه خونه کې د نسبي رطوبت کنټرول خپل سري نه ده. په هرصورت، لکه څنګه چې وخت بدلیږي، دا غوره ده چې د عامو، عموما منل شویو کړنو دلیلونه او بنسټونه بیاکتنه وکړو.
رطوبت ممکن زموږ د انسانانو د آرامۍ لپاره په ځانګړي ډول د پام وړ نه وي، مګر دا ډیری وختونه د تولید په پروسه باندې خورا لوی اغیزه لري، په ځانګړي توګه چیرې چې رطوبت لوړ وي، او رطوبت اکثرا ترټولو بد کنټرول وي، له همدې امله د پاکې خونې د تودوخې او رطوبت کنټرول کې، رطوبت غوره ګڼل کیږي.
د پوسټ وخت: سپتمبر-۰۱-۲۰۲۰
